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渦流法方阻測(cè)試儀

??渦流法方阻測(cè)試儀的方阻是指一個(gè)正方形?薄膜導(dǎo)電材料邊到邊的電阻?,也稱為方塊電阻或?膜電阻。方阻是衡量薄膜狀導(dǎo)電材料(如?蒸發(fā)鋁膜、?導(dǎo)電漆膜、印制電路板銅箔膜等)厚度的一個(gè)參數(shù),其大小與材料的電阻率和厚度有關(guān)。
方阻的特性是,無(wú)論正方形的邊長(zhǎng)如何,其邊到邊的電阻值都是相同的。這意味著,不管正方形的邊長(zhǎng)是1米還是1毫米,其方阻值都是一樣的。方阻僅與導(dǎo)電膜的厚度和電阻率有關(guān),與樣品的尺寸無(wú)關(guān)。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2025-06-26
  • 訪  問(wèn)  量:1342
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產(chǎn)品詳情

??方阻是指一個(gè)正方形?薄膜導(dǎo)電材料邊到邊的電阻?,也稱為方塊電阻或?膜電阻。方阻是衡量薄膜狀導(dǎo)電材料(如?蒸發(fā)鋁膜、?導(dǎo)電漆膜、印制電路板銅箔膜等)厚度的一個(gè)參數(shù),其大小與材料的電阻率和厚度有關(guān)。?

特性:

方阻的特性是,無(wú)論正方形的邊長(zhǎng)如何,其邊到邊的電阻值都是相同的。這意味著,不管正方形的邊長(zhǎng)是1米還是1毫米,其方阻值都是一樣的。方阻僅與導(dǎo)電膜的厚度和電阻率有關(guān),與樣品的尺寸無(wú)關(guān)。

描述:

渦流法方阻測(cè)試儀主要利用渦電流測(cè)試原理,非接觸測(cè)試半導(dǎo)體材料,石墨烯,透明導(dǎo)電膜,碳納米管,金屬等材料的方阻(電阻率)??蓪?shí)現(xiàn)單點(diǎn)測(cè)試,亦可以實(shí)現(xiàn)面掃描的測(cè)試功能,可用于材料研發(fā)及工藝的監(jiān)測(cè)及質(zhì)量控制。

特點(diǎn):

本儀器為非接觸,非損傷測(cè)試,具有測(cè)試速度快,重復(fù)性佳,測(cè)試敏感性高,可以直接測(cè)試產(chǎn)品片。

渦流法方阻測(cè)試儀技術(shù)參數(shù):

參數(shù)探頭

方阻范圍

電阻率范圍

測(cè)試方法

量程

低阻探頭

0.005-1Ω/sq

0.25-50mΩ·cm

渦流法,

非接觸式

中阻探頭

0.05-10Ω/sq

2.5-500mΩ·cm

高阻探頭

10-3000Ω/sq

0.5-150Ω·cm

錠探頭

0.01-2Ω·cm

重復(fù)性

<0.2%(≤50%量程范圍)

<0.5%(>50%量程范圍)

準(zhǔn)確度

<±3%(≤50%量程范圍)

<±3%(>50%量程范圍)

探頭信息

探頭類型:雙探頭(上下探頭,間距2-3mm)

探頭直徑:外徑20mm,內(nèi)徑14mm(有效測(cè)試部分)

坐標(biāo)設(shè)置

任意坐標(biāo)設(shè)置

存儲(chǔ)數(shù)據(jù)

數(shù)據(jù)庫(kù)內(nèi)部存儲(chǔ)(可導(dǎo)出表格文件)

PDF測(cè)試報(bào)告,含測(cè)試信息(時(shí)間、操作員)、wafer信息(編號(hào)、尺寸、厚度),數(shù)據(jù)信息(測(cè)試點(diǎn)數(shù),**值,最小值,平均值,相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差等),等高線圖,曲面圖等。

CSV表格數(shù)據(jù)可存儲(chǔ)至遠(yuǎn)端服務(wù)器,可根據(jù)客戶需求修改相關(guān)報(bào)告信息

WAFER信息

尺寸:2"-8"(英寸)

厚度:100-1500μm

系統(tǒng)要求

供電:AC220V,50/60Hz;功率:600W;環(huán)境:溫度24℃±10℃

相對(duì)濕度:20%-80%RH;尺寸:975*465*425(mm);壽命:>10年

渦流法原理:

當(dāng)載有交變電流的檢測(cè)線圈靠近被測(cè)導(dǎo)體,由于線圈上交變磁場(chǎng)的作用,被測(cè)導(dǎo)體感應(yīng)出渦流并產(chǎn)生與原磁場(chǎng)方向相反的磁場(chǎng),部分抵消原磁場(chǎng),導(dǎo)致檢測(cè)線圈電阻和電感變化。

渦流法方阻測(cè)試儀


電阻率=方阻×Wafer厚度

方阻和V具有關(guān)系

電阻率是用來(lái)表示物質(zhì)電阻特性的物理量,是材料本身的電學(xué)性質(zhì)。

適用材料:

材料

電阻率

方阻

Silicon wafer

Y

Y

SiC wafer / Ingot

Y

Y

GaO wafer / Ingot

Y

Y

GaN wafer 2DEGI

Y

Y

GaAs 2EDG


Y

IGZO/LTPS/ITO


Y

TCO(Touch panel)


Y

Graphene


Y

Metal film


Y


穩(wěn)定性

渦流法方阻測(cè)試儀


相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差=0.0150%@中點(diǎn)15次重復(fù)性


方阻Mapping55點(diǎn)測(cè)試報(bào)告

報(bào)告時(shí)間

2023/10/26 13:51

測(cè)試樣本數(shù)

55

分析時(shí)間

2023/10/26 13:47

**電阻率

0.0232

操作員ID

admin

最小電阻率

0.02277

批次ID

0

平均電阻率

0.02293

樣片ID

A-1-55

標(biāo)準(zhǔn)偏差

0.000111

尺寸規(guī)格

100mm

相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差

0.4861%



渦流法方阻測(cè)試儀


渦流法方阻測(cè)試儀


動(dòng)態(tài)重復(fù)性逐點(diǎn)(38點(diǎn)坐標(biāo))一致性數(shù)據(jù)如下(樣品面的測(cè)量5次)


           

重復(fù)性

Max

1

0.12459

0.12466

0.12467

0.12471

0.12472

0.0413%

0.0703%

2

0.12347

0.12351

0.12356

0.12358

0.12362

0.0477%


           

3

0.12315

0.12321

0.12323

0.12326

0.12329

0.0431%


           

4

0.12389

0.12398

0.124

0.12402

0.12405

0.0489%


           

5

0.12421

0.12424

0.12428

0.12438

0.12441

0.0703%


           

6

0.12396

0.12403

0.12406

0.12408

0.12412

0.0484%


           

7

0.12387

0.12389

0.12398

0.124

0.12403

0.0566%


           

8

0.12482

0.12486

0.1249

0.12493

0.12496

0.0444%


           

9

0.12431

0.12434

0.1244

0.12447

0.12451

0.0679%


           

10

0.12429

0.12435

0.12438

0.12442

0.12445

0.0500%


           

11

0.12372

0.12378

0.1238

0.12383

0.12386

0.0429%


           

12

0.12381

0.12389

0.12392

0.12393

0.12396

0.0462%


           

13

0.1237

0.12374

0.1238

0.12381

0.12385

0.0481%


           

14

0.12386

0.12394

0.12396

0.12399

0.12403

0.0512%


           

15

0.12394

0.124

0.12404

0.12407

0.12409

0.0482%


           

16

0.12496

0.125

0.12504

0.12507

0.12509

0.0421%


           

17

0.1245

0.12454

0.12452

0.12464

0.12465

0.0562%


           

18

0.12414

0.12418

0.12422

0.12425

0.12427

0.0424%


           

19

0.12392

0.12396

0.124

0.12404

0.12406

0.0462%


           

20

0.12487

0.12491

0.12496

0.12501

0.12501

0.0495%


           

21

0.12355

0.1236

0.12363

0.12367

0.12372

0.0526%


           

22

0.12402

0.12409

0.12412

0.12415

0.12417

0.0473%


           

23

0.12442

0.12444

0.12453

0.12456

0.12458

0.0578%


           

24

0.12419

0.12423

0.12428

0.12431

0.12434

0.0486%


           

25

0.12388

0.12395

0.12396

0.12398

0.12403

0.0438%


           

26

0.12501

0.12505

0.12509

0.12512

0.12516

0.0468%


           

27

0.1244

0.12444

0.12453

0.12453

0.12458

0.0592%


           

28

0.12441

0.12445

0.12452

0.12453

0.12457

0.0519%


           

29

0.12385

0.12389

0.12393

0.12396

0.124

0.0473%


           

30

0.12379

0.12383

0.12385

0.12387

0.12392

0.0389%


           

31

0.12367

0.1237

0.12372

0.12374

0.12381

0.0425%


           

32

0.12393

0.12397

0.12402

0.12403

0.12409

0.0492%


           

33

0.12394

0.12396

0.124

0.12405

0.12409

0.0502%


           

34

0.12506

0.12509

0.12514

0.12519

0.12521

0.0510%


           

35

0.12449

0.12452

0.12459

0.12465

0.12466

0.0610%


           

36

0.12423

0.12423

0.12431

0.12434

0.12436

0.0491%


           

37

0.12382

0.12386

0.12386

0.12392

0.12395

0.0421%


           

38

0.12494

0.12497

0.12502

0.12508

0.12508

0.0507%


           


不同阻值穩(wěn)定性測(cè)試如下(1000個(gè)數(shù)據(jù)分統(tǒng)計(jì))


           

真實(shí)值

靜態(tài)

動(dòng)態(tài)

穩(wěn)定性

0.1013

0.05%

0.05%

0.1596

0.04%

0.04%

0.2884

0.05%

0.06%

0.5657

0.07%

0.05%

0.9746

0.07%

0.08%

1.5941

0.11%

0.09%

3.1808

0.16%

0.27%

16.662

0.48%

0.96%

56.4

0.03%

0.05%

180.6

0.10%

0.10%

264.4

0.10%

0.16%

573.7

0.28%

0.36%

750.9

0.34%

0.43%


非接觸式無(wú)損方塊電阻測(cè)試儀、晶圓方阻測(cè)試儀,方阻測(cè)試儀,硅片電阻率測(cè)試儀,渦流法高低電阻率分析儀,晶錠電阻率分析儀,渦流法電阻率探頭和PN探頭測(cè)試儀,遷移率(霍爾)測(cè)試儀,少子壽命測(cè)試儀,晶圓、硅片厚度測(cè)試儀,表面光電壓儀JPV\SPV。為碳化硅、硅片、氮化鎵、氧化鎵、金屬薄膜、玻璃、襯底和外延廠商提供測(cè)試和解決方案。

憑借先進(jìn)的技術(shù)和豐富的產(chǎn)品線,已發(fā)展成為中國(guó)大陸少數(shù)具有一定國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的半導(dǎo)體專用設(shè)備提供商,產(chǎn)品得到眾多國(guó)內(nèi)外主流半導(dǎo)體廠商的認(rèn)可,并取得良好的市場(chǎng)口碑。

主要應(yīng)用領(lǐng)域:碳化硅測(cè)試、氮化鎵測(cè)試、晶圓硅片測(cè)試、氧化鎵測(cè)試、金屬薄膜測(cè)試、玻璃測(cè)試、襯底和外延廠商、光伏電池片測(cè)試。

 
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